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全面揭秘铜互连工艺:从原理到应用的全方位解读
在当今集成电路制造领域,铜互连工艺宛如一颗璀璨的明星,扮演着至关重要的角色。它是一种用于连接不同层电路的金属互连技术,核心在于通过 “大马士革”(Damascene)工艺实现铜的嵌入式填充。随着集成电路技术的飞...
分类:基础电子 时间:2025-06-17 阅读:277 关键词:铜互连工艺
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