紫外激光器（Ultraviolet Laser）是指输出波长在10nm~400nm紫外波段的激光器。由于其波长短、光子能量高，在精密加工、科学研究、医疗和通信等领域具有重要应用。

1. 紫外激光器的分类

紫外激光器根据工作物质和产生机制可分为以下几类：

（1）气体紫外激光器

• 准分子激光器（Excimer Laser）

  • 工作物质：惰性气体+卤素气体（如ArF、KrF、XeCl）

  • 典型波长：193nm（ArF）、248nm（KrF）、308nm（XeCl）

  • 特点：脉冲输出、高能量、用于光刻（如半导体制造）

• 氮分子激光器（N? Laser）

  • 波长：337nm

  • 特点：脉冲短、峰值功率高，用于荧光激发

（2）固体紫外激光器

• DPSS紫外激光器（二极管泵浦固体激光器）

  • 通过非线性晶体（如BBO、LBO）倍频、和频产生紫外光

  • 典型波长：266nm（四倍频）、355nm（三倍频）

  • 特点：稳定性高，适用于精密加工

• 光纤紫外激光器

  • 基于光纤激光器+倍频技术

  • 波长：355nm、266nm

  • 特点：体积小、光束质量好

（3）半导体紫外激光器

• UV LED / 激光二极管（LD）

  • 波长：365nm、375nm、405nm（近紫外）

  • 特点：体积小、低成本，用于UV固化、检测

2. 紫外激光器的特点

3. 紫外激光器的应用

（1）工业加工

• PCB/FPC 微孔加工（紫外激光钻孔）

• 玻璃/蓝宝石切割（手机屏、摄像头保护玻璃）

• 塑料/薄膜精密切割（OLED 柔性屏）

（2）半导体与光刻

• DUV光刻（深紫外光刻）（193nm ArF准分子激光用于7nm~28nm芯片制造）

• 激光直写（LDI）（用于PCB、显示面板制造）

（3）医疗与生物

• 眼科手术（LASIK）（193nm准分子激光矫正近视）

• DNA测序/荧光激发（266nm/355nm激光用于生物检测）

（4）科研与检测

• 拉曼光谱（紫外激光增强信号）

• 质谱分析（MALDI-TOF）（用于蛋白质检测）

4. 紫外激光器 vs. 红外/可见光激光器