氧化铝陶瓷基板的晶体结构、分类及性能

出处：网络整理发布于：2025-09-02 17:11:31

一、晶体结构

氧化铝（Al?O?）陶瓷的主要成分是铝和氧，其性能基础源于其稳定的晶体结构。

主要晶相：α-Al?O?，也称为刚玉。这是氧化铝所有晶型中稳定、致密的一种，所有高温处理的氧化铝陶瓷终都是转化为这种结构。
结构类型：六方密堆积（HCP）。
- 氧离子（O2?）构成六方紧密堆积的骨架。
- 铝离子（Al3?）填充在由氧离子围成的八面体空隙中，但只填充了其中的2/3。
键合方式：离子键为主，共价键为辅。Al和O之间的电负性差异较大，形成了强大的离子键，这使得α-Al?O?具有高硬度、高熔点、高化学稳定性和优异的机械强度。
微观形态：在烧结良好的氧化铝陶瓷中，α-Al?O?晶体呈现为均匀分布的等轴晶粒。晶粒尺寸和分布是影响其力学性能和热学性能的关键因素。

简单来说，其晶体结构可以想象为一个非常坚固、排列极其紧密的“蜂窝”，铝原子和氧原子通过强大的作用力紧密结合在一起，这使得氧化铝陶瓷具备了作为基板材料的先天优势。

二、性能特点

氧化铝陶瓷基板能成为电子基板的“常青树”，得益于其综合的优良性能：

优异的电绝缘性：
- 体积电阻率高（>101? Ω·cm），即使在高温、高频下仍能保持良好的绝缘性能。
- 介电强度高（10-25 kV/mm），耐高压击穿。
良好的机械性能：
- 高机械强度：抗弯强度高（300-400 MPa），足以支撑其上安装的芯片和元件，并耐受工艺过程中的机械应力。
- 高硬度（莫氏硬度9，仅次于金刚石和碳化硅），耐磨性好。
耐热性和热稳定性：
- 高熔点（约2050°C），可在高温环境下长期工作。
- 热膨胀系数（CTE，~7.0×10??/°C）与硅（Si，~3.5×10??/°C）较为接近，这对于半导体芯片的直接贴装至关重要，可以减少热应力带来的失效。
- 抗热震性较好（但不如氮化铝或碳化硅）。
良好的导热性：
- 虽然不如氮化铝（AlN）或氧化铍（BeO），但96% Al?O?的热导率约为25 W/(m·K)，远高于普通玻璃和树脂基板，足以满足大多数中、低功率器件的散热需求。纯度越高，导热性越好。
化学稳定性：
- 耐腐蚀，抗氧化，不与大多数强酸强碱（除氢氟酸和热浓硫酸外）反应。
- 不易与金属化浆料发生反应，工艺兼容性好。
缺点与局限性：
- 导热性有上限：对于现代高功率密度器件（如IGBT、大功率LED），其导热能力成为瓶颈，正逐渐被氮化铝（AlN）和氮化硅（Si?N?）等先进陶瓷替代。
- 脆性大：本质是陶瓷，不耐冲击，易碎裂。
- 加工困难：烧结后硬度高，只能通过金刚石砂轮进行研磨切割，加工成本高，且难以制作复杂形状。