在电子元器件的领域中,功率半导体器件 MOSFET 占据着举足轻重的地位。如果说晶体管能够被称为 20 世纪伟大的发明,那么毫无疑问,MOSFET 在其中功不可没。早在 1925 年,关于 MOSFET 基本原理的就已发表,1959 年贝尔实验室发明了基于此原理的 MOSFET 结构设计。时光荏苒,六十年后的今天,从大型的功率变换器,到小型的内存、CPU 等各类电子设备元件,MOSFET 的身影无处不在。
MOSFET 作为一种半导体器件,其工作的基本原理与半导体的特性密切相关。我们知道,金属材料可以导电,绝缘材料不导电,而半导体则能够实现既导电又不导电的特性。对于 MOSFET 而言,它需要实现的功能简单来说就是既能实现电路的通,又能实现电路的断。在数字电路里,这就是实现 0 和 1 的方式;在功率电路里,这是实现 PWM 转换器工作的基本手段。
要实现导通,当材料内部具有自由移动的电子(负电荷)或者空穴(正电荷)时,也就是存在载流子的时候,材料就处于导通状态。而要实现阻断电流,只需将一定区域内的自由载流子去除,材料就无法导电了。目前,我们用得多的半导体材料如硅(Si),是 Ⅳ 族元素,本身外层电子为 4,可以形成稳定的晶格结构,所以它本身无法导电。然而,当材料中掺杂了其他元素,比如 Ⅲ 族或者 Ⅴ 族元素,取代了晶格中的位置,情况就会发生改变。掺杂 Ⅴ 族元素,结构中就会有除外层 4 个以外的一个电子,多数载流子为电子;掺杂 Ⅲ 族元素,结构中就缺一个电子构成稳定结构,形成一个空穴,多数载流子为空穴。
MOSFET 全称为 Metal - Oxide - Semiconductor Field - Effect Transistor,即金属氧化物半导体场效应晶体管,其名字与结构息息相关。从结构来看,从上往下依次是金属、氧化层、掺杂的半导体材料。而 Field - Effect Transistor 中的 Field 指电场,意味着这种器件是电场驱动的晶体管。当在上下极板加上正电压,就会在材料中建立电场。以 P 掺杂为例,在外加电场的作用下,正电荷会往下离开,在上表面形成不含有自由载流子的耗尽区。当施加的电压足够高时,会进一步驱赶耗尽层内的空穴,并吸引电子往上表面运动,形成 N 型半导体,即反型层,也就是导电沟道。
以平面增强型 N 沟道 MOSFET 为例,其基本结构从左到右为 NPN 的掺杂,在扩散作用下会自然形成耗尽区,所以在未加外加电场时,漏极(Drain)到源极(Source)是断开的,属于 Normal off 的结构。当 Vgs>0 时,会在氧化层下面首先形成新的耗尽层;当 Vgs>Vth 时,形成反型层,此时 D 和 S 直接连通,MOSFET 导电沟道形成,进入导通状态。
增强型 N 沟道 MOS 输出特性有三种工作区域。而 MOSFET 实际上是一个大家族,其符号与命名也有规律可循。MOSFET 不同于 JFET,在 Gate 是不与导电沟道相连的,有一层氧化绝缘层,所以从符号中可以看出,MOSFET 中 Gate 和沟道是有缝隙的。增强型 MOSFET 在未加外部电压时为断开(normal off),沟道为三段虚线;耗尽型 MOSFET 在未加外部电压时为导通(normal on),沟道是一条直线。对于含有 bulk connection 的 MOSFET,区分 P 沟道与 N 沟道靠箭头方向,箭头方向遵循 P 指向 N 的准则。